二手 OXFORD / LANCER 1000 #126491 待售

OXFORD/LANCER 1000是一款先進的蝕刻/asher機器，設計用於精確的等離子體蝕刻和灰化。它利用獨特的工藝控制技術在大面積和快速循環時間內實現卓越的蝕刻均勻性,並在小面積內實現精密蝕刻和灰化。這些特性的結合使得OXFORD 1000成為用於光掩模生產、微機械加工和其他精密工藝的理想工具。LANCER 1000有一個三軸臂，用於等離子體源的精確移動。它包括一個高效的供氣設備，以盡量減少系統停機時間，一個高分辨率的成像檢測器，以確保整個基板的等離子體分布準確，最大工作面積1000 x 1000mm。其強大的控制單元可獨立控制蝕刻和灰化過程的功率和壓力,並確保對過程的精確控制。OXFORD/LANCER 1000旨在為包括但不限於矽片和MEMS器件在內的多種材料提供嚴格的過程控制和屈服均勻性。它具有較高的工藝吞吐量,適合生產環境,並且由於其高效的操作,總擁有成本較低。該機器還設計用於與各種室內等離子體源兼容，使其能夠支持一系列研究和工業應用。OXFORD 1000隨附的強健軟體，提供了一種容易使用的圖形程式語言，方便精確的刻蝕與ashing過程程式設計。它包括壓力、溫度和能耗的實時監控等內置安全功能。此外,還可以使用軟件擴展套件來擴展該工具,以支持自定義的流程序列或其他高級要求。總體而言,LANCER 1000專為各種蝕刻和灰化應用而設計,能夠以高生產率進行精確蝕刻和灰化。適用於多種基材，其易於編程的軟件使其成為從事實驗或生產應用的科學家、工程師和技術人員的理想選擇。