二手 OXFORD MicroEtch 300 #9304128 待售

OXFORD MicroEtch 300是一款高效、用途廣泛的蝕刻器/asher，利用先進的真空技術來加工各種尺寸和材料的基板。它被設計用於廣泛的應用，從原型開發和生產到高端研究和表征。MicroEtch 300適用於半導體、MEMS、OLED處理。OXFORD MicroEtch 300提供了許多特性和功能,使其成為各種應用程序的強大蝕刻器。設計提供高通量、低溫、高均勻性，是高精度處理的理想選擇。它還提供了一個易於使用的平臺，具有直觀的控制界面和可調節的功能，允許用戶根據自己的特定需求定制系統。MicroEtch 300利用基材的離子束蝕刻（IBE）和反應性離子蝕刻（RIE）的組合來獲得所需的蝕刻輪廓。IBE工藝為形狀或圖案處理提供了高的蝕刻速率和均勻性，而RIE用於精確的表面或層去除。OXFORD MicroEtch 300的高效設計使用戶能夠蝕刻50-200毫米大小的基板.MicroEtch 300利用變頻發生器（VFG）在整個蝕刻過程中提供均勻的配電。這樣即使在高長寬比蝕刻應用中也能確保穩定可靠的蝕刻。OXFORD MicroEtch 300還具有具有靜態和動態壓力控制的高真空操作，以及用於高蝕刻速率的氙離子源。此外,MicroEtch 300還提供了全自動循環管理以及保存和召回過程參數以獲得可重復結果的能力。它內置的過程監視器,並通過其配方編輯器支持多用途配方,允許用戶根據需要調整蝕刻配方,以及跟蹤和存儲所使用的任何工藝細節或配方。總體而言,OXFORD MicroEtch 300是一款高效且用途廣泛的蝕刻器/Asher,可為用戶提供可靠而精確的蝕刻解決方案,適用於各種應用。憑借其先進的真空技術、高度可調的功能、直觀的用戶界面以及更高的吞吐量能力，MicroEtch 300是那些需要高性能蝕刻系統的人的理想選擇。