二手 OXFORD NGP-1000 #293751615 待售

OXFORD NGP-1000是為先進的半導體加工應用而設計的最先進的蝕刻/asher設備。該工具結合了尖端技術和精確控制,可提供卓越的工藝性能和可重復性。OXFORD NGP1000是一種用途廣泛的工具，可以容納廣泛的晶圓尺寸和材料，使其適合各種研究和生產環境。NGP-1000的核心是其創新的工藝室，其特點是具有高功率等離子體源，能夠產生蝕刻和灰化過程所需的各種反應性物質。等離子體源通常是使用氧氣、氟氣和氙氣等氣體組合而成，這些氣體以受控的流速送入腔室。然後利用射頻（RF）功率為這些氣體通電，創造出能夠高精度蝕刻和灰化半導體材料的高密度等離子體。NGP1000還擁有先進的過程控制功能,具有端點檢測、壓力控制和溫度控制等功能。端點檢測是一項關鍵功能,它使系統能夠準確確定蝕刻或灰化過程何時完成,從而確保最小的過度蝕刻並保持半導體器件的完整性。壓力控制機制有助於保持工藝室內的最佳壓力條件，而溫度控制則確保晶圓溫度保持在指定範圍內，以防止熱損傷。OXFORD NGP-1000的關鍵優勢之一是其高吞吐量能力，允許用戶在一次運行中處理多個晶片。這是通過先進的晶片處理系統實現的，該系統確保晶片的有效裝卸、最大限度地減少工藝停機時間和最大限度地提高生產率。此外,OXFORD NGP1000還配備了直觀的用戶界面和軟件控件,便於設置和監控處理配方,使其成為經驗豐富的研究人員和新用戶的理想選擇。NGP-1000還考慮了靈活性,提供了一系列工藝定制選項,以適應不同的蝕刻和灰度要求。用戶可以調整氣體流量、射頻功率水平、工藝壓力等各種工藝參數，以實現對蝕刻和灰化工藝的精確控制。此外，該裝置還可以配備不同的氣體輸入系統和基板支架，以支撐各種各樣的材料和基板。在安全和可靠性方面，NGP1000包括堅固的安全聯鎖和監控系統，以確保隨時安全運行。該機器還具有內置診斷工具和遠程監視功能,允許主動維護和故障排除,以最大程度地減少停機時間並最大限度地提高刀具的正常運行時間。總體而言,OXFORD NGP-1000是一項非常先進的蝕刻器/asher資產,為高級半導體處理應用程序提供無與倫比的性能、靈活性和可靠性。