二手 OXFORD NPT1000 PE #293597503 待售

OXFORD NPT1000 PE
ID: 293597503
Reactive Ion Etcher (RIE) Cluster system.
OXFORD NPT1000 PE是一種先進的、可移動的蝕刻器/aser,設計用於各種基材,包括聚酰亞胺基材,以及用於濕蝕刻或幹蝕刻應用。該單元具有堅固的鋼結構,為可靠的蝕刻性能提供了穩定、低溫的平臺。NPT1000 PE具有高達+160°C的溫度範圍,並具有快速穩定蝕刻溫度的高性能加熱器。精確溫度控制由指示當前溫度設置的數字顯示器提供,包括一個°C步長的精度設定點。蝕刻過程可以用人性化的控制面板和利用UV-C和UV光源精確測量蝕刻過程的獨特光學傳感器精度來精確控制。這樣可以精確地改變蝕刻時間和溫度,從而產生極其可靠的蝕刻結果。工作站還有一個脈沖蝕刻模式,設計用於更高溫度(>180 °C)的蝕刻過程。采用脈沖蝕刻模式有助於降低蝕刻溫度,提高工藝安全性,提高吞吐量。OXFORD NPT1000 PE非常方便用戶,易於安裝和維護,具有多語言用戶和服務支持。可用於監視設備性能和蝕刻過程的Machine Insight™ (MI)套件提供了對Imaging Device和Machine Insight應用軟件的額外支持。MI套件設計用於觀察蝕刻過程,並根據計算機的當前狀態向用戶提供反饋。這套全面的預測軟件套件可幫助識別流程問題並盡快采取糾正措施,從而節省時間和資源。NPT1000 PE具有多種集成選項和功能,包括離子提升銷機構,該機構可幫助在蝕刻過程中將基板固定到位,防傾斜壓板可防止樣品錯位,以及雙氣體控制歧管,可同時使用幹法和濕法。蝕刻工藝還可以通過可選的工藝自動化軟件包(PAP)實現自動化,該軟件包為各種蝕刻工藝提供優化的配方。OXFORD NPT1000 PE除了方便用戶、便於運輸的設計外,還設計用於安全高效的操作。該設備配備了溫度過高的保護和工藝安全系統,旨在最大限度地減少環境汙染,最大限度地提高操作員的安全。對於聚酰亞胺基材和各種其他基材的快速、高精度蝕刻來說,這種蝕刻器是一種理想的選擇。
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