二手 OXFORD Plasmalab 100 Plus #293821211 待售

OXFORD Plasmalab 100 Plus是一款高效的蝕刻器/asher，用於電子和微技術領域的多種應用。這是一個先進的設備，能夠產生精確，控制和強大的等離子體參數。它具有創新的設計和先進的技術,可用於精確、可重復的過程控制。該系統使用反應性氣體和直流電（DC）電源的組合，創造等離子體環境，使蝕刻和灰化過程得以實現，而無需掩蔽或復雜的工藝配方。Plasmalab 100 Plus采用了一系列先進技術，以確保工藝成果的成功。其中包括一個高性能、低溫的腔室，它大大降低了能源成本，並提供了一個安全的工作環境。高級流程控制軟件允許最終用戶定義流程參數，並精確執行用戶定義的配方。此外，該裝置具有多種疏散和氣體輸送模式，以適應量身定制的工藝條件，使其適合多種應用。OXFORD Plasmalab 100 Plus被設計為高度自動化的機器，結合了圍繞氣體輸送、腔室疏散和過程調理的多種技術特性。這使得它的操作簡單可靠，同時提供完整的過程安全。腔室設有多個端口,可方便手動訪問,以便於樣品處理和交換,而集成的自動下泵工具和晶圓處理功能進一步使設置和操作自動化。對Plasmalab 100 Plus資產進行了優化,以生產汙染程度低的多部件設備。它提供了一致、可重復、可控的晶片對晶片曝光，以及能夠實時全面監控和控制等離子體過程的能力。憑借其先進的特點，這種蝕刻器/asher模型適合生產高密度、高度精確的器件，適用於大多數進行高級蝕刻和灰化工藝的實驗室。