二手 OXFORD Plasmalab 100 Plus #9205766 待售

OXFORD Plasmalab 100 Plus
ID: 9205766
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
PECVD System, 6" 1996 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 Plus是設計用於實驗室和研究設施的最先進的蝕刻和灰化設備。該系統設計用於半導體材料、微電子器件和MEMS器件的精密蝕刻和灰化。它能夠加工金屬、石英、矽、玻璃、陶瓷和聚合物等多種基材。該單元利用低成本射頻電源在真空室中創建高密度、低壓、感應耦合等離子體(ICP)源。ICP源隨後用於蝕刻和去除基材的預定部分。Plasmalab 100 Plus極大的靈活性讓使用者可以根據基材類型和所需的規格自訂蝕刻和灰化工藝。該機采用先進的電容式工藝控制器,配備壓力、溫度、頻率、氣流等幾個參數。高級工藝控制器可用於微調蝕刻參數,以達到所需的效果。OXFORD Plasmalab 100 Plus帶有一個直觀的用戶界面,允許用戶精確選擇所需的蝕刻參數並啟用過程的自動操作。該工具還包括壓力讀出和數字計時器,以方便用戶。該資產具有濕蝕刻功能,以及用於控制多個蝕刻過程的界面。該型號設計方便維護,具有耐用的不銹鋼設計。該設備還采用高效除塵系統,減少工作環境中的空氣傳播顆粒和危險廢物。Plasmalab 100 Plus是一個先進可靠的蝕刻和灰化裝置,為用戶提供可靠的結果。該機具有精確的控制和直觀的用戶界面,非常適合實驗室研發應用。
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