二手 OXFORD Plasmalab 100 Plus #9274966 待售

OXFORD Plasmalab 100 Plus是一款先進的蝕刻器/asher，設計用於現代半導體加工的精度和可重復性。它具有先進的觸摸屏交互操作以及全方位的功能和功能選項。這臺機器具有許多不同的工藝，包括氧化物銑削、深蝕刻、泥漿蝕刻和快速的天然氧化物去除。從鈦到鋁和銅的任何金屬都能提供優異的效果。Plasmalab 100 Plus是高速精密加工薄膜表面的理想工具。該機器由標準110V或220V電源供電，並利用直流電源最大限度地控制等離子體過程和可重復性。它具有很大的工作面積-高達110毫米X 110mm,在0.1 μ米的Z軸上具有可重復的精度和分辨率。OXFORD Plasmalab 100 Plus的設計可在7-30mT的最佳壓力範圍內工作,最高溫度為300 °C。等離子體發生器的頻率是可調的，峰值功率高達250W。Plasmalab 100 Plus具有一個可調節的階段,它可以檢測到微小的亞微米樣品偏移,並允許通過最大限度地減少對樣品的任何潛在損害來輕松優化過程。它還具有特殊的平坦舞臺表面設計，以防止由於蝕刻或灰燼操作而造成潛在的樣品扭曲。機器背面裝有捕獲臂系統，便於樣品和基板裝卸。OXFORD Plasmalab 100 Plus包括一套專為易於控制機器功能而設計的軟件。它具有預配置過程庫,可快速、方便地設置蝕刻和灰化操作。軟件還允許自定義流程設置以及單個流程的保存和召回。Plasmalab 100 Plus專為實驗室和生產用途而設計,為各種蝕刻和灰化操作提供卓越的效果。它具有堅固的結構,占地面積小,設計輕巧,便於在實驗室或生產環境中安裝。OXFORD Plasmalab 100 Plus的高品質設計和先進特性，以精確的控制和可重復的性能提供卓越的效果。