二手 OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293690524 待售
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OXFORD Plasmalab 133-ICP 380是一款先進的蝕刻器/asher,旨在實現一系列材料的高精度微加工。它采用變頻ICP電源，額定功率高達380 W，能夠產生快速的濺射蝕刻速率，提供優異的工藝重復性和提高的吞吐量。該設備具有雙等離子體功能，能夠實現標準的反應性離子蝕刻（RIE）和遠程等離子體蝕刻（RPE）技術。OXFORD PLASMALAB 133 ICP380配備了真空室和抽水系統，讓用戶達到非常高的真空水平。該單元還提供了一個開載鎖定工藝室設計，允許快速和可靠的蝕刻協議。該機器包括一個小巧的、低成本的ICP電源,無需外部電源。這提供了較長的服務壽命和強大的性能。此外，PLASMALAB 133 ICP 380還配備了完全可定制的氣體輸送工具，確保了對蝕刻過程的全面控制。這包括各種自動閥門控制和計量裝置，以及可以遠程監測和調整的多通道氣體控制資產。這確保了過程的可重復性和可重復性。板載軟件包使用戶能夠在過程中監視、控制和記錄所有關鍵蝕刻和沈積參數。此軟件包與IPC實驗室管理模型完全兼容,允許對復雜的實驗進行長期監控。最後，OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380還配備了一系列安全功能，如自動關閉開關和清洗設備。這樣可以確保操作過程中的高度安全,防止事故和汙染。總體而言,PLASMALAB 133-ICP 380是一款高級蝕刻器/asher,旨在提供最大程度的過程控制、精度和吞吐量。
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