二手 OXFORD Plasmalab 133 Plus #293760250 待售

OXFORD Plasmalab 133 Plus是一種等離子體蝕刻/灰化設備，用於工業級蝕刻和灰化應用。它將大功率微波等離子體源與先進的蝕刻和灰化技術相結合。該系統基於200毫米等離子體處理器，能夠產生高分辨率的熱和等離子體工藝結果。該單元提供了廣泛的各向異性控制，允許其用戶實現非常精確的蝕刻和灰化結果。Plasmalab 133 Plus提供了廣泛的功能。它具有1200 µm的均勻性分辨率，可以用於高長寬比的加工材料。它能夠以非常高的精度摻雜/展開厚度高達200 nm的層。再者，配備了多種鋁銅沈積、陽極氧化、絲網印刷、自旋上非導電電介質、濺射蝕刻等交替工藝來源。在安全方面，OXFORD Plasmalab 133 Plus的設計符合嚴格的安全標準。它具有Interlock-Net安全系統,可監控壓力、溫度和安全參數,並確保連續安全運行。此外，它還有一個低端排氣管理機器，可以減少有害材料的影響，並有助於確保遵守環境法規。在生產力方面，Plasmalab 133 Plus提供高達700晶圓每小時的高吞吐量。還配備了自動化工藝參數、工藝配方編程、晶圓級條件監控等高級工藝控制功能。此外,它還包含一個圖形用戶界面,允許用戶查看各種流程指標。OXFORD Plasmalab 133 Plus是半導體行業先進且反應靈敏的蝕刻和灰化工具。它采用了一套令人印象深刻的功能和工具,使用戶能夠以最小的努力實現非常精確的結果。