二手 OXFORD Plasmalab 133 #9090813 待售

OXFORD Plasmalab 133蝕刻器是一種專用的等離子體蝕刻和灰燼設備，設計用於各種研究和生產應用。該系統利用多種腔室和技術來實現各種蝕刻和表面制備工藝。Plasmalab 133作為一種多功能的多用途蝕刻裝置，可用於廣泛的基材類型，包括但不限於矽、III-V和金屬。該機采用風冷室設計，采用集成射頻發生器，支持射頻濺射和離子蝕刻。高功率、直接射頻發電機為濺射應用提供高達1 kW的功率輸出，為離子蝕刻應用提供高達500 W的功率輸出。雙頻射頻發生器還支持雙頻等離子體操作，允許用戶使用單個工具在高頻和低頻源之間切換以優化蝕刻結果。OXFORD Plasmalab 133具有精密的過程控制技術，包括集成到真空室中的實時壓力表，允許在等離子體處理過程中進行精確的壓力控制。還提供了惰性氣體閥和流量計，可以精確控制工藝氣體成分和壓力。板載氣體控制資產允許在蝕刻過程中使用各種各樣的工藝氣體，如氧氣、氮氣和氙氣。該模型還包括一個集成的機動化樣品支架，以便於樣品裝卸。支架配有手動Z軸，允許樣品上下移動，以微調蝕刻參數。最後，Plasmalab 133配備了一個集成控制器，提供對工藝參數的精確控制，以確保重復可靠的蝕刻結果。綜上所述，OXFORD Plasmalab 133蝕刻器是一種多用途、用途廣泛的設備，設計用於可靠的蝕刻和表面制備應用。利用多種腔室和工藝控制技術，該系統可以用來蝕刻廣泛的材料，包括矽、III-V和金屬。集成的車載氣體控制單元、實時壓力表、雙頻射頻發生器、電動樣品支架為蝕刻結果提供精確控制，允許重復蝕刻工藝優化。