二手 OXFORD Plasmalab 133 #9256926 待售

OXFORD Plasmalab 133是一種蝕刻/灰化器，設計用於蝕刻和灰分表面，包括集成電路、磨損工具、黑色和有色材料以及貴金屬的表面。它配備了先進的專利可編程數字控制設備和強大的高頻發電機，允許從批到批精確一致的過程控制和可重復性。Plasmalab 133使用電偏置、蝕刻化學和反應性氣體的組合，對待處理的表面進行蝕刻或灰燼處理。電偏置產生電場，使加工氣體電離，形成等離子體。此等離子體結合蝕刻化學，然後用於在基板表面上創建和維護所需的輪廓。化學和氣體可以改變，以適應具體的應用。OXFORD Plasmalab 133提供廣泛的工藝參數，以達到不同的效果，並提供良好的工藝穩定性。它配備了獨特的氣體分配系統，優化了蝕刻均勻性和工藝加速度。該腔室設計為減少維護操作，並配有兩個高性能真空泵。這允許用戶根據應用程序快速更改真空級別,從而增強過程控制。Plasmalab 133帶有直觀的操作員設置屏幕和圖形操作員界面，便於快速、輕松的單元和過程控制與監控。擁有最新的安全環保體系。它的設計是完全封裝和盡量減少化學品接觸，並提供一個安全的工作環境。OXFORD Plasmalab 133是一種可靠高效的蝕刻和灰化機，適用於廣泛的應用。它具有出色的可重復性和廣泛的工藝參數，是工業、實驗室和教育應用的理想選擇。