二手 OXFORD Plasmalab 133 #9404282 待售

OXFORD Plasmalab 133是一款高性能的等離子體粉碎機，設計用於各類基材的蝕刻、清潔和表面改性。它是一種多功能工具，是前沿研究、開發和生產應用的理想選擇。該機器是一個方便用戶的工具，易於設置和操作。Plasmalab 133具有緊湊的臺式設計，由不銹鋼構成，提供優異的性能和可靠性。它具有集成的壓力控制器、可調溫度計和PID數字顯示屏,可以精確控制蝕刻過程。利用射頻功率產生活性物質的高密度放電，可以調諧得到高達10 mTorr的腔室壓力。利用其可調節的可重復功率輸出，機器可以在各種材料和基板上蝕刻到1微米的精度。OXFORD Plasmalab 133能夠以批量模式或連續蝕刻方式運行。它具有高達350°C的高溫公差，可以蝕刻高達0.25微米的厚度。機器也可以在反應性離子蝕刻（RIE）模式下操作。RIE模式對於蝕刻復雜陣列（如3D-structuring非常有用。Plasmalab 133還帶有兩個氣體進料,O2/CF4,用於精確控制蝕刻過程。為確保安全，OXFORD Plasmalab 133配有內置的安全互鎖。該機還具有真空泄漏檢測系統，在發生真空泄漏時將關閉電源。真空室設計為與標準冷凍泵配合使用，因此真空可以在整個蝕刻過程中可靠地保持。Plasmalab 133是任何需要精確等離子體蝕刻的應用的理想工具。它具有用戶友好的設計、易用性和高性能,是研究和生產中各種任務的理想選擇。