二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus-M #293604357 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus-M是一種蝕刻器/asher設備，設計用於在低壓等離子體環境中快速產生細線蝕刻和灰燼。該系統是一個完全自動化和高度通用的單元，能夠處理各種形狀和大小的基板。該機器由一個真空室和一個氣體輸送工具組成，直接連接到幾個氣源，允許維持多種工藝條件。Plasmalab 80 Plus-M利用由高頻電源供電的電容耦合等離子體（CCP）源實現蝕刻和灰化過程。可以使用一系列氣體，包括氧氣、氮氣、氙氣、碳氟化合物和碳氫化合物，以及一系列壓力和功率水平，以利於高分辨率蝕刻和灰化。該資產配有可編程轉盤，可以方便地裝載和處理多個基板。通過嵌入式Arduino微控制器的對稱沈積屏蔽增強了沈積均勻性，以實現精確的氣流控制。通過線圈淬火技術和快速循環時間，使模型的能量利用率最大化，可低至30毫秒，此外，設備還配備了監測系統，以監測沈積條件、腔室溫度和清潔度。OXFORD Plasmalab 80 Plus-M是高精度、可靠和可重復工藝結果的理想解決方案。