二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293607498 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一種用於制備樣品進行分析的蝕刻和灰化工具。它支持等離子體蝕刻和灰化過程，以便以高精度去除樣品表面的材料層。它可以支持Si、GaAs、InP等不同材料的蝕刻和灰化工藝。該蝕刻器配備了專用的PlasmaEtch Source，旨在提供優化級別的自動補償、負載匹配和其他性能增強功能，以確保始終如一的高生產率和工藝質量。利用其集成的晶片卡盤設計，等離子體蝕刻源可以有效地對準樣品，快速轉移蝕刻氣體和納秒脈沖等離子體功率。晶片卡盤設計還支持不同的樣品尺寸,直徑可達8英寸。蝕刻過程在低壓高溫等離子體室中進行，該室配有EMI過濾器，以保持蝕刻環境的清潔度。該室還配備了一個原位氣體洗滌器，以使廢氣回收和循環利用能夠最大程度地蝕刻產量。此外，該腔室還配備了一個自動化的原位傳感器，用於精確和可重復的過程控制。蝕刻過程得到高級安全系統的補充，該系統禁止在滿足所有安全參數之前啟動該過程。Ashing process used a technologically advanced 「Single Ash Source」.它支持TMAH ashing和RCA-1 clean ashing。「單一灰源」提供額外的蝕刻溫度控制以及灰分過程的穩定性。該系統還配備了一個集成氣體洗滌器，用於在需要時回收和回收廢氣。Plasmalab 80 Plus還具有直觀的軟件界面,可提供有效的流程設置和控制。通過其圖形用戶界面，可以輕松創建、編輯和監控流程配方，並實時調整流程參數。該軟件還允許方便的數據存儲和導出,以便於共享和過程優化。總而言之，OXFORD Plasmalab 80 Plus是進行各種材料蝕刻和灰化工藝的理想工具。其先進的技術和全面的軟件套件使其成為各種制造和研究相關應用中樣品制備的理想選擇。