二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293637518 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先進的蝕刻加工設備，旨在滿足各種先進半導體技術研發應用的需求。該系統將超高精度蝕刻結構與高效硬件和軟件外圍組件相結合，為用戶提供了一個全面的工藝開發平臺。Plasmalab 80 Plus由主機單元、工藝室和多個外圍組件組成。主機由集成平臺控制工具和優化調度邏輯組成，以及多個高級顯示工具和特殊子系統。該工藝室包括真空室、等離子體源和淋浴頭。真空室裝有渦輪分子泵，使用戶可以達到高達1 x 10-6 Torr的絕對壓力。淋浴頭是一個多參照的光學清洗石英頂部搬運工，使完整的過程可追溯。等離子體源是一種先進的基於電磁的直流源，有助於支持高長寬比特征蝕刻。此外，OXFORD Plasmalab 80 Plus還配備了多個外圍部件，包括配方管理資產、樣本管理模型、過程控制和數據采集設備、手動樣品裝載系統、氣體和化學控制單元、樣品對準機、抗蝕劑跟隨者和成像工具以及CVD資產。配方管理模型促進了新流程的快速開發和優化,允許高效的管理、監控和控制（超過半導體器件的生產、測試和測量）,並便於實時過程監控和產品收集。樣品管理設備允許在蝕刻過程中自動收集和清洗晶片和樣品，並協助收集蝕刻後的清潔晶片。Plasmalab 80 Plus是一個精密的蝕刻器/asher系統,能夠提供優化的蝕刻過程和與外圍設備相關的精密控制系統,為研究人員和開發人員提供一個全面的多功能平臺來滿足蝕刻和處理需求。