二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293660207 待售

ID: 293660207
優質的: 2005
System Gases: SiH4, NH3, N2O, N2, CF4 2005 vintage.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款高性能、自動化的Plasma Etcher和Asher。它在復雜結構上具有優異的等離子體蝕刻性能,具有高質量和可重現的效果。Plasmalab 80 Plus為速度和精度配備了大功率ECR源和機動化舞臺,使其適用於廣泛的材料。Oxfod OXFORD Plasmalab 80 Plus強大的電動舞臺可實現高達100毫米/秒的掃描速度,步長小至1 µm。先進的控制設備可確保晶片上的蝕刻速率具有極好的重復性和均勻性。Plasmalab 80 Plus還具有低壓閉環系統,可有效蝕刻微觀結構。低壓裝置的精確操作能夠對較小的特征進行精確蝕刻,並最大限度地減少顆粒沈積。OXFORD Plasmalab 80 Plus還配備了高效冷卻機,在蝕刻過程中將晶片上的熱應力降至最低。此工具有助於提高設備的使用壽命和更高的蝕刻性能。Plasmalab 80 Plus還配備了自動化氣體輸送資產,設計用於輸送多種氣流,精確地為各種晶圓材料量身定制蝕刻工藝。該模型有助於優化蝕刻工藝,最大限度地減少材料損失,減少生產時間。OXFORD Plasmalab 80 Plus還配備了軟件控制設備,可方便編程和控制蝕刻過程。板載系統允許改進系統控制、提高精度和加快蝕刻速度。Plasmalab 80 Plus是一款先進、可靠、易用的等離子體蝕刻裝置。它在各種材料上具有優異的蝕刻性能,具有高精度和重復性。它是小型和大型生產運行和低成本每部分蝕刻的理想機器。
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