二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293665218 待售
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ID: 293665218
Reactive Ion Etcher (RIE) / Inductive Coupled Plasma (ICP) Etcher
Cl2
SF6
SiCl3
CHF3
O2/Ar
Chiller.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一種蝕刻/灰化設備，為各種基材和材料的蝕刻或灰化提供可靠、可重復和堅固的解決方案。Plasmalab 80 Plus采用了一系列精密蝕刻工藝，包括反應性離子蝕刻（RIE）、感應耦合等離子體（ICP）和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）蝕刻。可以通過多種方式對該過程進行編程,以確保獲得最佳的蝕刻結果。OXFORD Plasmalab 80 Plus設計用於在真空室中執行各種過程。它能夠在從環境溫度到250°C的各種溫度範圍內對材料進行蝕刻和灰化。在0瓦到1000瓦的高精度電源下，系統可以用直流電源應用程序和各種波形編程，用於一系列具有不同化學性質的蝕刻工藝。Plasmalab 80 Plus配備了一個自動的樣品轉移單元和樣品階段，以便於運輸晶圓。它還具有軟件功能，允許用戶控制蝕刻過程，並在整個蝕刻周期內保持均勻性。此外，還對危險材料和化學品作出了特別規定，提供了一個安全的環境。該機器具有許多安全功能,可以完全保護用戶。它包括多個聯鎖、壓力監測、氧氣和水傳感器以及緊急關閉。此外，該工具旨在在整個過程中盡量減少對腔室和部件的汙染。OXFORD Plasmalab 80 Plus是研究應用和其他需要高度精確配置蝕刻或灰化操作的應用的完美解決方案。其尖端技術結合了可重復性和均勻性，使其成為那些尋求可靠蝕刻和灰化工藝的人的理想選擇。
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