二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293668719 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款最先進的Asher/Etcher，設計用於制造晶圓級封裝、印刷電路板制造、MEMS制造等高科技應用的亞半微米細金屬圖案。該設備使用兩種不同的技術----反應性離子蝕刻（RIE）和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）----同時進行蝕刻、沈積、蝕刻和沈積。RIE技術可以高精度蝕刻，而PECVD用於沈積厚度精確的薄膜。Plasmalab 80 Plus配備了雙離子源，允許對多種材料進行超精確蝕刻。該蝕刻器還配備了高科技電動級和溫度適應真空，確保精確、可重復的蝕刻和沈積結果。OXFORD Plasmalab 80 Plus為不同的蝕刻和沈積任務提供多種工藝配方，並配有氣體混合系統，以及用於控制和監測蝕刻和沈積過程的集成軟硬件。Plasmalab 80 Plus有一個精密的控制單元，最多可以處理200毫米的晶圓大小。蝕刻器操作簡單,可以快速設置和更改流程和配方。最後，OXFORD Plasmalab 80 Plus是需要能夠承擔復雜和高級項目的蝕刻/沈積機的實驗室的理想選擇。