二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293670958 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一個頂級的線蝕刻/asher設備。它主要用於半導體工業，用於薄膜的制造、沈積和蝕刻。該系統旨在利用低功耗、經濟高效的工藝實現卓越的蝕刻分辨率和高質量的薄膜。Plasmalab 80 Plus配備了全局電源、電子壓力控制器、電子槍以及要求底壓5x10-7 Torr （35 mBar）的高真空單元。具有精確氣體調節功能的集成氣體面板可實現精確的過程控制。蝕刻室的設計和構造提供了優越的工藝均勻性，以及較大晶片的大腔室體積。此外，OXFORD Plasmalab 80 Plus還有一個集成的背面冷卻階段，旨在保證膜的生產均勻。除了為最佳亞微米蝕刻和等離子體清潔分辨率而設計之外，Plasmalab 80 Plus還配備了多種功能和組件，以確保最大性能水平。先進的成像光學機器可以實時監控蝕刻過程,而自動對焦自動立體掃描頭工具則可以維護基本成像參數。資產還配備了多模式功能，允許最多四個蝕刻過程在一個腔室同時編程和操作。OXFORD Plasmalab 80 Plus還配備了質量膜檢測視頻模型,該模型提供數百張檢測圖像,用於實時監控過程性能。最後,集成的、用戶友好的圖形用戶界面（GUI）為編程和監視流程提供了準確、直觀的方法。Plasmalab 80 Plus是一款備受追捧的蝕刻/asher設備,它以較低的擁有成本提供卓越的蝕刻分辨率和高質量的薄膜。該系統具有堅固的電源、集成的氣體面板和多模式功能,非常好地滿足了半導體行業的要求。集成的背面冷卻級和成像光學單元可以實現最佳的均勻性和更高效的生產。最後,OXFORD Plasmalab 80 Plus 蝕刻器/asher由用戶友好的GUI和膠片檢查視頻機作為後盾,以確保最高級別的性能和滿意度。