二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293764146 待售

ID: 293764146
Reactive Ion Etcher (RIE) Upgraded to X20 PLC ATP400 HPC Pump RFX600A Generator Gas box Turbo pump Monitor PC Operating system: Windows 10.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款用於材料研究、半導體制造和芯片生產的asher和蝕刻器。其先進的設計和構造使其能夠產生極其精確、極其精確的蝕刻和粉碎結果。Plasmalab 80 Plus采用最優質的不銹鋼制成,不僅確保了最耐用、最可靠的性能,而且還保證了出色的防溢漏和防溢性能。此蝕刻器/asher裝有先進的電子控件,並具有數字顯示器與之交互。采用單級高真空機械泵送系統,具有獨立的安全測試系統,具有較高的溫度穩定性。其他功能包括可調節的腔室壓力範圍和內置的高性能射頻發電機,工作範圍很廣(最高可達350W)。OXFORD Plasmalab 80 Plus配備了最先進的氣體攪拌機和加熱器系統,可根據工作的精確要求將其設置為特定的比例和流量。它還能夠進行精密的多層蝕刻和灰化,可重復蝕刻速率為0.1 um/min。靈活的過程控制允許進行優化,以實現精確、高質量的結果,並具有最小的周期時間和最大的吞吐量。由於其先進的設計,Plasmalab 80 Plus非常容易操作。其用戶友好的界面設計直觀、直觀,允許快速、輕松的設置和調整。所有流程都是高度自動化的,並具有若幹高級安全功能,從而確保了優化、安全和高效的流程。OXFORD Plasmalab 80 Plus除了具有出色的蝕刻和灰化能力外,還非常適合晶圓清洗和去鍵。其先進的設計和構造使其特別適合晶圓廠級半導體生產。此蝕刻器/asher具有非常低的維護時間和較高的可靠性。Plasmalab 80 Plus是用優質材料制成的,這意味著它的高性能肯定會持續多年,而且維護或維修最少。
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