二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293766036 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先進的蝕刻器/asher設備,可為各種樣品提供大量的精密蝕刻、灰化和降解功能。蝕刻和灰化功能由其集成的脈沖電源驅動,該電源可提供高達800V的脈沖,從而使系統能夠執行一系列退火和蝕刻技術。此外，Plasmalab 80 Plus還配備了一個可編程的自動樣品傳輸單元和一個機器人晶圓處理臂，用於高效的樣品處理。OXFORD Plasmalab 80 Plus具有多功能的工藝室,可提供批處理和單晶圓處理功能。該工藝室最多可容納6個晶片用於批量加工，還具有內置的質量流控制器和可調節聚焦氣體界面，可調節工藝氣體和其他氣態材料流入腔室，從而實現可重復和可重復的加工結果。此外，氮氣凈化機保持加工室清潔和無雜質，確保過程的完整性。除了先進的蝕刻和退火功能外，Plasmalab 80 Plus還提供先進的降序工藝。先進的降序過程利用射頻功率、反應性離子蝕刻（RIE）和濕蝕刻的組合來創建幹凈的蝕刻表面。該工藝具有較高的蝕刻精度和均勻的金屬層蝕刻效果.OXFORD Plasmalab 80 Plus能夠執行各種蝕刻配方,這些配方可以針對特定應用程序的特定蝕刻需求進行定制。直觀的用戶界面允許簡單的配方編程和數據記錄蝕刻周期結果，以便於參考。最後,Plasmalab 80 Plus的高級安全功能使其成為安全的蝕刻工具,可用於實驗室或工業環境。該資產具有多種安全功能,如高級警報、主動電湧保護、接地屏蔽和過壓保護,有助於保護人員和模型免受蝕刻過程中的潛在危害。最後,OXFORD Plasmalab 80 Plus是一種先進的蝕刻器/灰化器設備,它為各種樣品提供了大量的精密蝕刻、灰化和降解能力。該系統具有先進的安全特性，能夠在實驗室和工業環境中進行可靠的蝕刻。Plasmalab 80 Plus具有通用的工藝室和直觀的用戶界面,可提供可重復和可重復的蝕刻結果,並可容納針對特定應用定制的各種蝕刻配方。