二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293811830 待售

ID: 293811830
晶圓大小: 8"
PECVD System, 8" Gases: CF4, Ar, N2.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是專門為研究實驗室的物理氣相沈積(PVD)和幹蝕刻要求而設計的蝕刻器/asher。這種功能強大的蝕刻器/asher提供各種控制功能,以確保可定制地處理用於PVD和蝕刻操作的樣品。Plasmalab 80 Plus配備基於數字的計算機控制設備,用於管理PVD和幹蝕刻操作的參數。該系統允許手動和自動控制蝕刻過程的參數,如氣流、壓力和等離子體功率。此外,該單元還提供8條氣體管線、一部手動和一部自動壓力控制機,以及手動和自動等離子體控制功能。OXFORD Plasmalab 80 Plus還提供了多種其他功能,如先進的安全工具、用於監測射頻狀況的集成射頻探測器以及過溫關閉資產。此外,Plasmalab 80 Plus的所有組件都旨在提供長期的可靠性以及長期的成本節約。蝕刻器/asher還配備了塗有PTFE的閘閥、主動冷卻模型以及確保最大安全的先進排氣設備,以及流線型操作。這些特性為操作員提供了最佳的安全性,以及可靠、高質量的蝕刻工藝。OXFORD Plasmalab 80 Plus還兼容多種配件,如負載鎖、負載端口、電源以及過程控制解決方案。這允許自定義過程並增強對蝕刻過程參數的控制。總體而言,Plasmalab 80 Plus是一款先進的計算機控制蝕刻器/asher,專為研究實驗室中的PVD和幹蝕刻而設計。它提供多種控制功能,以及集成射頻探測器、主動冷卻系統和塗有PTFE的閘閥等附加功能。此外,OXFORD Plasmalab 80 Plus與各種配件兼容,允許增加對蝕刻工藝參數的控制。
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