二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9277860 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款高性能蝕刻器/asher，設計用於濕法或幹法中各種樣品的蝕刻和灰化。該設備采用了蝕刻和灰化工藝的優化技術，包括最新的等離子體生成技術，能夠對各種材料和應用進行聚焦和控制。Plasmalab 80 Plus擁有120 W射頻發電機電源，能夠在13.56 MHz的最大頻率下產生5-500 W的功率範圍。發電機有一個集成的控制系統，能夠控制電流、電壓、溫度和其他與蝕刻/灰化過程有關的參數。發電機還包括一個智能控制單元，它能夠根據特定過程的需求自適應過程參數。OXFORD Plasmalab 80 Plus有一個四袋樣品支架，一次最多可容納四個樣品，可以節省時間，提高吞吐量。最大樣品尺寸為直徑4英寸，高度1.5英寸，蝕刻面積直徑最大為10英寸。該機器還能夠執行背面蝕刻和灰化過程，允許多次通過蝕刻和灰燼。Plasmalab 80 Plus有一個集成的安全工具，旨在保護用戶免受潛在危害。該資產具有射頻互鎖、真空互鎖和緊急停止按鈕，以確保安全運行。該模型還具有內部安全電路,用於監控蝕刻/灰化參數,並在發生過壓、低溫或高溫或其他不安全情況時關閉設備。OXFORD Plasmalab 80 Plus還包括多個軟件控件，允許用戶根據自己的特定需求定制系統。該單元的控制軟件利用圖形用戶界面，便於導航和使用。該界面允許用戶輸入參數和選擇進程，同時提供對蝕刻/ashing進程的詳細監視和控制。該機還可以儲存食譜和程序供日後使用，方便重現經過測試和驗證的過程。除了這些功能，Plasmalab 80 Plus還包括控制真空和氣體流動的軟件，以及監測等離子體放電的軟件。所有這些特性結合其高性能和精確度，使得OXFORD Plasmalab 80 Plus成為蝕刻和灰化應用的理想選擇。