二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9352269 待售

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ID: 9352269
PECVD System With THERMO NESLAB RTE-7 Chiller MKS MFC's Flow rates range: 50 SCCM to 1 SLM Deposition material: SiN/SiO2 and SiON ALCATEL Pump LAFERT Trolley HONEYWELL Q Mate Power supply HONEYWELL UDC3300 Power supply Power: 90-250 VAC, 50/60 Hz, 18 VA Gas / Flow rate CF4+O2 / 200 SCCM N2 / 1 SLM SiH4 (2%) / N2 / 500 SCCM NH3 / 50 SCCM N2O / 1 SLM.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先進的全功能蝕刻器/asher。它旨在在蝕刻和粉刷各種材料時提供準確、可重復的結果。它具有直觀、用戶友好的界面和高級軟件,可讓您完全控制電源、溫度和工藝時間等參數。80 Plus有多種腔室配置,以適應不同的工藝和材料。Plasmalab 80 Plus具有堅固可靠的蝕刻和灰化設備。它能夠處理多種材料,包括黃銅、銅、鋁、不銹鋼和多氯聯苯。80 Plus采用兩種獨立的真空系統-一種用於蝕刻/灰室,另一種用於真空系統。這樣可確保最大程度的過程準確性和可重復性。真空單元包括無油渦輪分子泵、機械背襯泵和VAR(真空輔助再泵送)站,以保持穩定的真空水平。該腔室加壓時使用的是氙氣,壓力範圍從10 mbar到500 mbar。OXFORD Plasmalab 80 Plus是一種極精確的蝕刻和灰化機。它的工作溫度在270°C到350°C之間,而可調節的壓力和真空水平使您能夠精確控制蝕刻和灰化過程。它的可變功率激光器實際上允許您控制蝕刻深度以及沈積速率,以實現無與倫比的精度。除了先進的蝕刻和灰化功能外,Plasmalab 80 Plus還為您提供了完善的診斷功能。工具的原位軟件監控過程的各個方面,包括腔室壓力、溫度和真空,以及輔助資產狀態。這樣,您就可以在問題成為問題之前識別和解決問題。OXFORD Plasmalab 80 Plus具有業界領先的特點和精確度,是快速可靠地蝕刻和粉刷各種材料的絕佳選擇。其先進的軟件、強大的電機模型、用戶友好的界面以及多用途的腔室配置使其成為可靠、高性能的機器。
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