二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9383858 待售

ID: 9383858
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD Systems, parts system.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款先進的蝕刻器/asher設備,能夠用多種材料生產高度精確的零部件。該設備能夠以驚人的精度和可重復性生產零件。Plasmalab 80 Plus使用內置的等離子體源以高達5 cm2/min的速度提供精確的蝕刻和灰化操作。該系統具有堅固、高精度的運動平臺,即使在最小的尺度上也能確保元件的精確操作。與等離子體源一起,該單元利用嵌入式集成軟件套件實現對過程的精確控制。OXFORD Plasmalab 80 Plus采用不銹鋼風冷室,壓力為180-300 mTorr。這樣可以確保機器能夠操作並保持一致的過程壓力和溫度。該工具利用3軸運動控制資產來確保最佳零件跟蹤,並具有精確調整蝕刻速率和持續時間的能力。其他值得註意的特點包括一組集成的基於噴嘴的蝕刻和灰化噴嘴以及用於浸入式部件蝕刻的針頭汽化模塊。Plasmalab 80 Plus還提供多種工藝選項,包括反應性離子蝕刻、離子束蝕刻和離子銑削。它還全面概述了蝕刻和灰化操作中使用的材料選項。該模型包括幾個安全功能,以確保操作員受到任何危險條件的保護。這些功能包括一個不斷監測系統的計算機診斷設備、一個聯鎖裝置,以進一步降低用戶受傷的風險,以及一臺緊急機器,在緊急情況下立即關閉工具。除了其先進的功能外,OXFORD Plasmalab 80 Plus的設計更方便維護。它擁有全自動維護資產,使模型能夠預先編程,以便在指定的時間間隔內進行維護,確保設備始終處於最佳運行狀態。總體而言,Plasmalab 80 Plus是一個先進的蝕刻/asher系統,能夠生產精確的零部件。它內置了許多先進的功能和安全系統,使其成為任何蝕刻或灰化操作的絕佳選擇。
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