二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9384679 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款最先進的蝕刻器/asher,它提供了對關鍵蝕刻和灰化參數的出色控制。其先進的設計確保了精確的蝕刻和灰化控制，以最大限度地提高工藝均勻性和裝置產量。該單元配備了精確可控的圓形磁控管天線，以確保可重復的過程參數。此外,它還具有多範圍電源,對過程參數提供非常瞬態的響應,以便在需要時進行快速調整。Plasmalab 80 Plus具有先進的真空室設計，最大限度地提高了腐蝕防護，以及多種晶圓傳輸機制，提供高效一致的蝕刻和灰化工藝。它還配備了幾個過程監測和控制系統，包括氣流監測儀、壓力調節器和氣體純度分析儀，以確保一致、可靠的結果。OXFORD Plasmalab 80 Plus提供高級用戶界面,簡化操作並最大程度地減少操作員錯誤。該控制設備實時提供過程參數反饋，還可以進行高效的數據記錄和分析。對於更復雜的蝕刻,Plasmalab 80 Plus有幾個選項可供選擇。一個過程氣體混合系統提供了多種氣體的高效混合和自動氣體校準模塊最小化過程漂移隨著時間的推移。機載氧氣監測器有助於確保惰性氣體工藝用於關鍵應用。OXFORD Plasmalab 80 Plus是一個用途廣泛、功能強大的單元,能夠為各種蝕刻和灰化應用提供出色的工藝一致性和產量。其先進的控制系統和用戶界面簡化操作，同時實時提供流程參數反饋。對於更復雜的蝕刻應用，一個過程氣體混合機和自動氣體校準模塊確保可靠的結果，減少過程漂移隨著時間的推移。
還沒有評論