二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9398272 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus是一款適合研究和教育用途的高性能集成蝕刻器/asher設備。它能夠精確演示各種材料的樣品加工，包括矽和聚合物。完整的系統包括基座單元、向下看的光學元件、向上看的光學元件和氣體處理單元。底座單元是一個精密工程密封室嵌入框架內，配有電線和控制機器。該腔室由不銹鋼、陽極氧化鋁和增強的丙烯酸材料構成，並以專利密封蓋設計控制溫度氦氣回填。基礎單元提供的預混合生產工藝保證了穩定的性能，並產生了一致的結果。向下看的光學器件在基板表面提供均勻的照明,其數字光柱確保了高分辨率成像工具。向下看的光學器件有一個可以延伸到22.6毫米（1英寸）的視野。工作距離範圍可變（3.3-11.3毫米）。光學資產的設計是為了優化樣品表面的照明，並確保最佳性能。上圖光學器件覆蓋0.1-400Å的範圍，可用於監測蝕刻和圖案。它提供了一個高分辨率的成像模型，放大倍數可達1400X，並配備了最先進的成像和模式識別設備。Plasmalab 80 Plus的氣體處理系統由一個主控制單元和五個獨立的質量流控制器和過程閥組成，用於控制氣體（氧氣和氙氣）的輸送。氣體供應裝置是為批量和連續過程設計的，可以使用全方位的過程控制軟件進行監測和控制。此外，控制器還能夠進行基材和材料的監測、沈積計量和圖樣設計。OXFORD Plasmalab 80 Plus是一種先進的工具，用於對各種材料進行精確的加工和制圖，非常適合教育和研究用途。機器的卓越性能和工程設計使其成為可靠、精確的蝕刻和灰化工藝的首選。