二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9412407 待售

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9412407
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus是由OXFORD Instruments設計開發的創新蝕刻/灰機。它被設計成一種高性能、符合人體工程學和經濟高效的工具,用於半導體、納米技術和微加工行業的各種應用。Plasmalab 80 Plus具有強大的蝕刻/灰分射頻(RF)發生器,可確保可靠和可重復的結果。該發電機產生可調節的脈沖直流或射頻功率,用於高精度蝕刻/灰分操作。這款大功率發電機使OXFORD Plasmalab 80 Plus能夠處理廣泛的材料,包括非金屬、塑料、軟金屬和其他金屬。其可變工作臺一次最多可容納四個基板,以進行更高效的加工。Plasmalab 80 Plus還配備了冷卻劑設備,使室內溫度保持在較低水平,蝕刻/灰室表面保持涼爽。這種冷卻劑系統減少了蒸發,增加了過程的重復性。此外,OXFORD Plasmalab 80 Plus還通過高度安全的聯鎖、ESD安全連接和RF-cage(保護用戶和操作員)提供了安全至上的方法。Plasmalab 80 Plus隨Bertech的AutoEtch Unit一起提供,它允許通過觸摸按鈕遠程選擇最多五種基板。這消除了操作員手動選擇和更改基板的需要。此外,內置配方和機器參數存儲庫還提供了更高的過程重復性。OXFORD Plasmalab 80 Plus在微電子學和微機械化技術上有著廣泛的應用。在納米技術和電子設備的開發中可用於RIE蝕刻/灰分。也適用於濕蝕刻和幹蝕刻/灰化工藝。此外,Plasmalab 80 Plus可用於等離子體輔助沈積、金屬和有機變體以及其他表面處理工藝。因此,OXFORD Plasmalab 80 Plus是一種先進的蝕刻/灰分機,非常適合各種微電子和納米技術的需要。它具有可靠和可重復的結果、廣泛的材料和易於使用的功能,使其成為有經驗和新用戶的絕佳選擇。
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