二手 OXFORD Plasmalab 80 #293630465 待售

OXFORD Plasmalab 80是一種最先進的蝕刻和灰化設備,能夠處理晶圓、封裝模具和高寬高比基板。這一高度發展的系統是市場上為數不多的具有200毫米高長寬比卡盤的系統之一，能夠為微量和納米結構的蝕刻、灰化和等離子體清洗提供所有必要的參數。Plasmalab 80的核心是一個附加的工藝室，利用一種新型的數字掃描儀進行均勻的工藝分布，並利用一個多點壓力控制單元進行精確的壓力設置，以實現一致的蝕刻和灰化結果。該機還具有高功率射頻等離子體源，它提供了大量的等離子體動力，以實現高等離子體密度的關鍵蝕刻、灰化和清潔任務。平臺的8英寸容量允許快速循環時間和提高吞吐量，而單位的250公斤雙門工具則提供了增強的晶圓操控和提高的安全性。此Plasmalab模型還具有處理多種基板類型和尺寸的功能,允許用戶在處理不同基板時增加吞吐量並減少停機時間。資產的所有組件都設計為相互協作,以實現溫度敏感過程的精確溫度和壓力控制。這確保了各種應用程序的可重復性和高收率。用戶友好的設計具有高度直觀和客戶友好的特點,使模型易於使用。Plasmabab 80是一款功能強大的蝕刻器和asher解決方案,可為高性能研發實驗室帶來卓越的生產力和質量。這個尖端的Plasmalab模型還提供了一個全面的配方庫，讓每一個操作員找到適合任何種類材料的工藝。