二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293606951 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是一款先進的、高精度的光學面罩對準蝕刻器和asher。設計用於生產微電子器件和光子元件。Plasmalab 800 Plus為掩模對準器應用提供了一個通用工具，允許用戶使用單個設備進行蝕刻、無功離子蝕刻、粉刷和清潔集成電路層。OXFORD Plasmalab 800 Plus設計有一個大的加工室，允許原型制作和生產利用光學遮罩對準技術的設備。該腔室能夠在受控真空環境中進行蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）、灰化、真空沈積和其他過程。光學蒙版對準器采用了全圓可從鏡掃描機構，提供了光學圖樣蒙版與蝕刻基板的穩定、高分辨率對準。此外，系統還利用了強大的晶圓船，允許基材和口罩快速準確的定位。除了基本的蒙版對齊和蝕刻功能外，Plasmalab 800 Plus還提供了高級功能。該單元采用受控的RIE工藝,以確保整個基板上蝕刻特征的均勻性。該機器還能夠嚴格控制臭氧、氧氣和氮氣的清潔過程，使用戶可以使用單一工具清潔和加工設備。此外，資產還允許用戶部分蝕刻具有蝕刻選擇性的工藝層。最後，OXFORD Plasmalab 800 Plus利用直觀的用戶控制模型，允許用戶快速編程各種過程參數，實時監控蝕刻過程。這些功能允許利用光學掩蔽技術快速、高效和經濟高效地生產設備。