二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293615031 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是業界領先的蝕刻器/asher,旨在為各種工業、研發蝕刻和灰化項目的生產提供高速和精確度。該機由一個等離子體室、一個蓋子升降機、帶有電源的開放式、封閉式和離子束源、一個數字控制器和射頻發生器單元、一個遠程接口和一個等離子體處理室組成。等離子體腔室由高抗性陶瓷基材料制成，能夠承受高達180 °C的等離子體和溫度。這與集成的蓋子升降機相結合，能夠優化等離子體腔室的進入和完整的樣品裝載和卸載直徑達200毫米的基板。控制面板、電容傳感器和其他安全功能確保設備能夠在全自動模式下安全運行。蝕刻器/asher結合獨特的脈沖功率技術使用先進的富氮等離子體和離子束。因此，這種技術的組合使得能夠完全控制蝕刻和灰化工藝參數，如溫度、壓力、時間和功率。數字控制器和射頻發生器還具有用於端點檢測的可編程值和診斷功能,即使在最精細的基板上也能實現精確的蝕刻和灰化結果。開放式和封閉式源具有最大50 W的負載和直徑最大為6英寸的加工腔室。離子束源具有高達15keV的光束能量和高達每單位50A的電源。流程周期最多可編程100個順序流程,並且可以存儲以供將來使用。遠程接口允許對所有機器操作和過程參數進行遠程控制,從而確保快速輕松地設置蝕刻器/asher,以及更高級別的可重復性和精度。總體而言,Plasmalab 800 Plus 蝕刻器/asher是一種先進的高性能工具,可為工業和研究目的提供可靠的蝕刻和灰化工藝。蝕刻器/asher提供卓越的自動化和精確度,可實現一致和高質量的結果以及可靠的重復性和一致的結果。OXFORD Plasmalab 800 Plus具有直觀、易用且用途廣泛的設計,是一款可靠、創新且自給自足的蝕刻器/灰版,可滿足您的所有蝕刻和灰版要求。