二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293620207 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus 蝕刻器/asher是一款高性能、經濟高效的蝕刻和灰化設備，專為微電子和研究行業的應用而設計。它7.5升的大工作量允許用戶一次蝕刻和粉刷多達四個晶片，而3 mTorr的低基壓使得它適合各種蝕刻和粉刷工藝。Plasmalab 800 Plus具有先進的電子系統,具有直觀的用戶界面,允許用戶配置和定制其蝕刻和灰化過程。這包括一個配方編輯器，使用戶能夠設置他們的蝕刻和ashing參數，並調整他們的特定要求。單元中的集成質量流量控制器確保氣體流量始終以適當的比例和正確的純度添加。OXFORD Plasmalab 800 Plus為包括氧化物蝕刻、鈍化和活化在內的一系列應用提供多種蝕刻和灰化化學。它的三室設計允許多種蝕刻配置，有幾種工藝選項，包括感應耦合等離子體源和輝光放電源。此外,該機器還提供了多種其他有用的功能,例如用於晶圓對準的眼睛安全激光源、用於樣品對準的手動源以及專用的灰化室。該工具可以使用OXFORD Plasmalab IC軟件以全自動模式操作，該軟件為用戶提供對其蝕刻和灰化序列的完全控制。該軟件使用戶能夠設置自己的配方並實時監控流程，並具有各種可以根據自己需求定制的報警和安全功能。總體而言,Plasmalab 800 Plus為用戶提供了一種可靠且經濟高效的方法來精確地蝕刻和粉刷材料。其先進的功能、直觀的用戶界面和自動化的功能使其成為微電子和研究行業中許多應用的絕佳選擇。