二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #293813769 待售
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OXFORD Plasmalab 800 Plus是一款高級蝕刻器/asher,用於加工多種材料,特別是薄膜等具有高精度金屬化性能的材料。其卓越的性能和精確度使其成為各種工業和研究應用的理想選擇。該機配備7厘米晶圓容量,適合大規模樣品處理。它提供低壓或雙壓系統的選擇,提供高速率的基板蝕刻和灰化,具有最大精度和高可重復性。晶圓尺寸範圍可以從100-300毫米調整,使其能夠從微米到微米進行處理。該機器既包括高壓電源,也包括等離子體電源,實現了一系列的等離子體過程,並提供了最通用、最一致的結果。這使得它能夠進行精密蝕刻和灰化,以滿足苛刻的要求。它還提供高達500 °C的溫度控制、高達3 Torr的工作壓力和高達1 kW的射頻功率選項。Plasmalab 800 Plus還裝有自動化的裝卸系統,允許用戶同時裝載多個樣品,方便在它們之間切換。它還提供了廣泛的可自定義參數,以最適合工作的特定要求。該機還配有空氣冷卻系統,使得實現安全、均勻的蝕刻或灰化過程成為可能。該機適用於包括Al、Ti、Au在內的多種材料,質量或可靠性均無降解。OXFORD Plasmalab 800 Plus的用戶友好界面輕松集成了一系列外部數據庫和工具路徑,使處理更加輕松高效。該系統還提供一系列診斷,使用戶能夠深入了解系統,從而提高流程安全性和可靠性。總而言之,Plasmalab 800 Plus是一系列要求苛刻的蝕刻工作的理想選擇。它具有多種功能、強大的設計和令人印象深刻的性能,是專業用戶的絕佳選擇。
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