二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9090621 待售

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ID: 9090621
PECVD Systems SiOx, SiNx, SiOxNy Deposition Batch process Platen: 450mm With 300°C+ heater RF Power: 350W 13.56MHz and 300W 480KHz Gas pod with 6 lines including following MFCs: N2: 1000sccm N2O: 100sccm N2O: 2000sccm NH3: 100sccm SiH4: 2000sccm Windows PC Currently crated Not included: Pump Chiller 2006-2007 vintage.
OXFORD Plasmalab 800 Plus是為精密材料加工而設計的先進蝕刻和灰化系統。它能夠進行廣泛的過程,包括幹式和濕式蝕刻、灰化、蒸發和其他沈積技術。作為濺射沈積工具,它可以在幾百到幾千攝氏度的低溫下提供有效的蝕刻和灰化。Plasmalab 800 Plus是任何材料工程師的強大而精確的工具,能夠處理金屬、電介質、聚合物和其他材料。該系統具有高度先進的不銹鋼真空室,能夠在低至超高真空條件下運行。可以將各種各樣的材料和組件裝入腔室,包括應用特定的樣品,如MEMS和其他微米級技術中使用的樣品。該室設有一個真空機器人機械手,使樣品自動交換和提高吞吐量。加上先進的溫度控制器,可以在腔內進行精確的加熱和冷卻。系統通過直觀的觸摸屏界面進行控制,從而更容易在進程之前、期間和之後監視和修改各種參數。它包括高級編程,使研究人員能夠創建和修改特定材料、沈積技術和基材的配方。用戶友好的環境使研究人員和工程師能夠輕松訪問OXFORD Plasmalab 800 Plus提供的各種高級蝕刻、灰化和沈積功能。Plasmalab 800 Plus配備了先進的安全功能,允許清潔高效的操作。整個腔室的壓力和溫度傳感器、自動監控、泄漏檢測等創新功能都保證了安全運行。安全功能可配置用戶友好界面,以智能方式監控和修改操作,提供高效可靠的處理。總體而言,OXFORD Plasmalab 800 Plus是蝕刻、灰化和沈積工藝的最佳選擇。它將直觀的操作、精度和安全性相結合,非常適合任何尋求可靠和精確材料加工的研究人員或工程師。Plasmalab 800 Plus憑借其超高真空能力、先進的溫度控制器、自動化的樣品加載和真空機器人,以及全面的安全功能,是一款有針對性、精密處理的頂級工具。
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