二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9250156 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是一款高級蝕刻器和asher，專門設計用於實現可重復蝕刻速率和均勻蝕刻的表面，即使在具有挑戰性幾何形狀的表面上也是如此。Plasmalab 800 Plus由一個電源提供動力,該電源為工藝室提供高性能、低噪聲的等離子體。該系統還具有先進的光學傳感器，能夠對開路電位和反應性沈積速率進行高效檢測、測量和分析，使用戶能夠精確控制蝕刻過程。OXFORD Plasmalab 800 Plus擁有智能軟件控制的工藝室，具有廣泛的工藝參數，為最安全、最高效的材料蝕刻創造了條件，並配有集成的真空泵、水冷和油霧回收系統。它能夠蝕刻大量用於微電子應用的各種細膩材料，包括矽和砷化移銨。此外，Plasmalab 800 Plus還有一個全局快門，可進行原位快門控制，為每個蝕刻周期提供靈活性。電源的交流輸出可從0調整到100%,從而完全控制整個過程。蝕刻室的有效垂直間隙公差為0.2mm。OXFORD Plasmalab 800 Plus支持的三種主要蝕刻方法是平面蝕刻、柵格蝕刻和盲蝕刻。平面蝕刻和柵格蝕刻都需要X、Y和theta坐標掃描。對於盲蝕刻,theta掃描將替換為單點測量。平面蝕刻法最好在長寬比較高的蝕刻層時，而光柵蝕刻最好用在長寬比較小的密集層上。盲蝕刻可用於大長寬比、高長寬比、無精細特征的層。用戶的安全由三個主要安全特點保證：除非停止蝕刻過程，否則加工室門不會打開的聯鎖系統、用於檢測加壓收集顆粒和化學品的泄漏傳感器以及超聲波發射器/接收器。所有這些功能確保了蝕刻過程中的最大安全性。在不使用時,Plasmalab 800 Plus Auto-Save函數將保存所有進程參數以及它們產生的蝕刻過程的簽名。此功能允許用戶以最小的努力重復以前的蝕刻過程。它還監視工藝狀態,使用戶能夠在開始生產之前評估蝕刻性能。