二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9315629 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是一款蝕刻器和asher，旨在滿足先進原型制作和研發實驗室的需求。它是一種高性能的多室設備，能夠進行廣泛的蝕刻和灰化工藝。該系統采用獨特的雙室設計，允許在一個室中進行蝕刻，在另一個室中進行灰化。濺射蝕刻室包括一個壓板，最多可同時安裝和固定四個基板，從而實現高通量蝕刻。使用滑動門可以方便地裝載基板，無論大小和形狀如何。DI灰化室旨在提供更快、更一致的氧化物蝕刻速率，石英基單側蝕刻器非常適合最新一代的材料。這兩個分庭都是通過獨立、健全的控制系統運作或管理的。Plasmalab 800 Plus在等離子體腔室和DI ashing腔室中使用RF源的組合。射頻源經過精心配置,可確保最大效率,範圍可達485W。這使設備能夠處理薄而細膩的基板,而不會犧牲性能。OXFORD Plasmalab 800 Plus具有多語言、直觀的用戶界面,可讓客戶輕松控制機器,可直接訪問蝕刻室、配方、調整參數、過程定時和射頻參數。可以選擇預編程的配方,使客戶能夠微調結果,以滿足其特定應用程序的需求。Plasmalab 800 Plus的設計考慮到安全性，並配有互鎖、屏蔽和安全系統，以確保操作員隨時安全。所有組件的設計都符合當前的CE和FCC法規。該工具還集成了真空診斷和遠程訪問功能。OXFORD Plasmalab 800 Plus是精密、高效、安全的蝕刻和灰化加工的理想選擇。高級功能、強大的設計和直觀的軟件使其成為任何高級原型設計或研發實驗室的重要工具。