二手 OXFORD Plasmalab 800 Plus #9404272 待售

OXFORD Plasmalab 800 Plus是一種用於處理和蝕刻各種材料的最先進的蝕刻器/asher。它為精細材料的加工提供了高度的精確度和精確度，是為極致清潔和優化過程控制而設計的。它能夠通過預編程的操作序列和各種可編程參數進行蝕刻、灰化、濺射和廣泛的其他應用。Oxfod Plasmalab 800 Plus旨在提供高吞吐量,並最大限度地減少操作人員在過程中的幹預。該工藝室真空度高達100毫巴，內部容積為23升，適用於尺寸可達300毫米的樣品。這使得薄膜的大規模沈積或微電子器件的處理具有可重復的均勻性和高通量。易於訪問的前面板應用模式包括金屬、半導體和陶瓷等不同材料的蝕刻和灰化配方，以及針對更具體工藝量身定制的配方。集成驅動系統能夠精確控制工藝條件,對壓力、溫度、流量和底壓進行獨立監控,以優化工藝性能並最大程度地減少汙染。高級用戶界面允許實時遠程操作和監視流程參數，並提供對流程步驟的在線控制。所有設置和程序更改都可以通過Web服務器遠程訪問。這樣可以確保無需現場人員即可全面實施新流程或例行維護硬件。OXFORD Plasmalab 800 Plus的後面板最多可容納20種工藝氣體，可以在蝕刻和灰化操作中進行選擇和控制。其他功能包括功能強大的數據記錄功能,它本質上是內置的可編程數據記錄器,允許在實驗和操作期間進行過程優化。Plasmalab 800 Plus旨在縮短運行時間並提高操作一致性。該系統具有高吞吐量和大容積腔室，使用戶能夠快速開發新的微型器件制造和蝕刻工藝。其用戶友好的界面使其易於操作和編程,從而確保了可靠、一致和高效的操作。