二手 OXFORD Plasmalab 800 #293830575 待售
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ID: 293830575
優質的: 2015
PECVD System
Process chamber
Gas/control enclosure
Pumping package
2015 vintage.
OXFORD Plasmalab 800是一款先進的車載蝕刻器和asher。它包括板載高分辨率離子束源和內置的反應性氣體輸送設備。它旨在在蝕刻和灰化過程中提供精確度和準確性,使其成為廣泛應用的理想選擇。該蝕刻器具有5µm/min的高沈積蝕刻速率，在提高選擇性、可重復性和邊緣清晰度的同時可以達到1200K的溫度。Plasmalab 800具有廣泛的工藝氣體，包括FF、SF、CF4、CHF3、CF2Cl、CF 2Br、C2F 2Cl 2和C2F 2Br。它還具有各種壓力和溫度循環，可用於各種底物化學。OXFORD Plasmalab 800還為其工藝參數配備了實時監控系統。這包括氣流、沈積速率、沈積百分比、氣體濃度、壓力和溫度。它還允許遠程監視,並且可以與本地網絡連接一起使用或直接通過Internet訪問。該單元是獨立的，易於操作和維護。它具有直觀的圖形用戶界面（GUI）以及用於操作設置和故障排除的全面手冊。它可以容納厚度不超過3mm的4「-8」基板,蝕刻後無需清洗。Plasmalab 800是用於精密蝕刻和灰化的最先進的工具。機載高分辨率離子束和氣體輸送機使其非常適合各種微加工應用。它能夠快速、精確地產生具有出色的重復性和邊緣清晰度的工藝層。內置遠程監控工具便於診斷和維護。這些功能使OXFORD Plasmalab 800成為一種功能強大且極具價值的工具。
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