二手 OXFORD Plasmalab 90 Plus #9305326 待售

OXFORD Plasmalab 90 Plus是一款用途廣泛、可靠的蝕刻/asher組合設備。用於濕法和幹法混合蝕刻樣品的蝕刻和灰化。該系統非常適合蝕刻和粉刷各種材料,包括Si、GaAs和InP。Plasmalab 90 Plus配備兩個電源；直流電源,正向和反向電源最多100A個,射頻電源最多可產生500W個。OXFORD Plasmalab 90 Plus 蝕刻器/asher具有全自動操作,具有高精度的樣品放置、傳輸和檢測。此單元允許使用6軸運動控制機對樣品進行精確蝕刻和灰化,使樣品精確放置在卡盤上。該腔室具有基於氟氯化碳和氟氯化碳的蝕刻能力，兩種類型的蝕刻都有各種可選氣體。Plasmalab 90 Plus還具有靈活的氣體輸送設置，可以針對不同的蝕刻需求對不同的氣體流動和輸送壓力序列進行編程。蝕刻和灰化過程使用完全集成的ARM（自動機器人運動）工具進行控制,在不同的樣本中提供編程配方和準確的結果一致性。OXFORD Plasmalab 90 Plus配備了先進的流程監控資產，以確保準確的結果。自動位置驗證（APV）模型允許自動註冊樣品位置,而自動端點檢測（AEP）設備可以檢測蝕刻或灰化過程的結束。Plasmalab 90 Plus為各種樣品的蝕刻和灰化提供了一個堅固可靠的平臺。它的準確性、柔韌性和過程控制使得它成為微觀制造半導體器件和其他材料的理想工具。該系統也適用於深矽蝕刻和灰化等先進工藝。