二手 OXFORD Plasmalab DP 800 #293649543 待售

ID: 293649543
優質的: 1993
PECVD System Gases: SiH4, SiO2, Si3N4, N2O, NH3, H2, CF4, O2 (2) Rotary vane pumps Roots pump Turbo pump Dust filter RF Generator Vacuum gauge Controller Silane cracking oven Gasbox with MFC 1993 vintage.
OXFORD Plasmalab DP 800是一種蝕刻器和asher,旨在為各種應用提供精確的蝕刻和灰化技術。這種高度先進的工具提供了對蝕刻、灰化和離子濺射過程的精確控制,使用戶能夠在可比技術所需時間的一小部分內獲得準確的模式和特征。Plasmalab DP 800配備了高性能的DualPower電源,在蝕刻和灰化過程中提供對RF和DC功率水平的精確控制。這允許用戶微調他們的流程,微調精確的結果。OXFORD Plasmalab DP 800可在大範圍的縱橫比上實現精確的有限縱橫比蝕刻。該蝕刻器設計用於蝕刻單層或多層結構,支持各向同性和各向異性蝕刻。還配備了直接二極管激光器,用於控制蝕刻深度;這樣可以實現統一且可重復的蝕刻結果。Plasmalab DP 800還能與多種蝕刻氣體一起灰化,包括氧氣、氮氣和​​氙氣。這款asher配備了變頻RF電源,允許用戶控制其ashing過程的脈沖持續時間和頻率。這有助於實現精確的結果,以及提高可靠性和可重復性。總體而言,OXFORD Plasmalab DP 800是一款先進的蝕刻器/asher,它提供了極好的速度、準確性和可重復性組合。它具有高精度和精密控制的蝕刻和灰燼能力,使其成為半導體行業中功能強大且廣受歡迎的工具。其特點,加上出色的性能,使得Plasmalab DP 800蝕刻器和asher成為各種應用的理想選擇。
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