二手 OXFORD Plasmalab PRS900 #293640277 待售

OXFORD Plasmalab PRS900是一種堅固、高性能的蝕刻器/asher,旨在為用戶提供精確蝕刻和粉刷各種材料的能力。蝕刻器/asher是一種多功能工具，能夠蝕刻、粉刷和蝕刻清潔各種材料和基材。它既有蝕刻室，又有灰燼室。蝕刻室具有光柵射頻（RF）源和真空能力，可實現精確、精確的蝕刻。Asher腔室還具有RF源,具有用於修剪Ashing的DC和RF電源。蝕刻過程是在PRS900中通過向蝕刻室引入工作氣體和基板材料而啟動的，在那裏它們暴露於射頻源。此函數導致材料-去除速率取決於基材類型、氣體類型、氣體壓力、氣體流量和基材蝕刻暴露時間等參數。Asher腔室使用直流電（DC）和射頻源將樣品修剪成所需的大小，與蝕刻腔室的修剪形狀同心。該PRS900還有一個閉環過程控制系統，利用壓力、時間和溫度來微調蝕刻和灰化過程。該PRS900具有一系列獨特的特點，如靈活配方編程的可移動工藝室、自動冷卻、系統溫度保護、氣體流量計算以確保可重現結果，以及用於優化等離子體生成的射頻匹配電路。所有這些功能都可確保蝕刻器/asher可用於可達到各種深度和特征大小的標準和定制蝕刻輪廓。Plasmalab PRS900是小型和大型蝕刻和灰化項目的通用工具。它提供了一系列功能,以提高精度和準確性,這意味著用戶現在可以輕松執行復雜的蝕刻和灰化任務。利用優化的等離子體生成、可重現的結果和靈活的配方編程，PRS900使得蝕刻和灰化比以往任何時候都更加容易。