二手 OXFORD Plasmalab System 90 #293605091 待售

OXFORD Plasmalab Equipment 90 （P90）是為IC和一般微加工應用而設計的高品質蝕刻/灰化蝕刻器。這種先進的蝕刻器/asher是精密蝕刻和相關應用的理想選擇。P90配備單一氣流系統，能夠對細膩結構進行精確高效的蝕刻，同時保持高工藝產量。P90提供了一個設計獨特的腔室,真空級別高達1 × 10-6 Torr,確保了進行蝕刻過程的最佳蝕刻環境。此外，P90還集成了加熱器和冷卻器，允許在蝕刻過程中產生不同的熱模式，從而實現精確和高分辨率的結構。此外，一個內置的自動快門功能，提供實時控制氣體流量。此外，P90還有一個高效和可靠的聯鎖裝置，可防止在沒有達到具體標準的情況下發生蝕刻過程。此外，P90中的腔室設計用於機器人臂對晶片進行高效的裝卸，並配備手動試樣裝卸裝置。Plasmalab Machine 90具有直觀的操作工具,用戶友好,並允許操作員快速習慣其功能。控制臺顯示實時數據,例如示例的配置文件和狀態以及腔室壓力。操作員可以輕松讀取腔室壓力，調整資產參數。此外,P90還配備了支持遠程訪問程序的高級軟件模型,允許用戶通過以太網連接監視和控制設備參數。P90軟件具有全面的遠程控制功能和全面的故障查找功能,可最大程度地減少停機時間和批量浪費。由OXFORD Instruments建造的OXFORD Plasmalab System 90是IC和一般微加工應用的完美蝕刻器/asher。P90具有一系列先進的工藝能力及其易於使用的操作單元,為復雜結構的生產提供了無與倫比的質量和性能。