二手 OXFORD PlasmaPro 100 Cobra #293794608 待售

OXFORD PlasmaPro 100 Cobra是一款尖端的等離子體蝕刻器/asher設備，專為先進的半導體和微電子器件制造工藝而設計。這一通用工具結合了創新技術，為研發領域的廣泛應用提供高性能等離子體處理能力。PlasmaPro 100 Cobra的核心是其獨特的雙等離子體源配置,具有感應耦合等離子體（ICP）和下遊等離子體源。這種雙源設計提供了增強的過程靈活性和控制，允許用戶量身定制等離子體特性以滿足特定的過程要求。ICP源產生具有高效電離能力的高密度等離子體，而下遊等離子體則增強了過程的均勻性和穩定性。該系統擁有緊湊的占地面積和方便用戶的界面，適合學術和工業研究環境。直觀的軟件界面允許簡單的配方開發和過程優化，允許用戶快速適應不斷變化的研究需求。此外,該設備的高級自動化功能簡化了操作並提高了生產效率,最大限度地減少了停機時間,並最大限度地提高了吞吐量。OXFORD PlasmaPro 100 Cobra提供了廣泛的工藝功能,包括蝕刻、灰化、表面修改和清潔。該機配備了一系列氣體輸送選項，可以精確控制工藝氣體和流速。這使用戶能夠進行各種等離子體過程，如各向同性和各向異性蝕刻、鈍化、降序和抵抗剝離。該工具的高級射頻功率功能能夠精確控制等離子體密度和能量,便於微調過程參數以獲得最佳結果。此外,該資產還具有一系列射頻匹配網絡和調整選項,以適應各種基材和工藝要求。PlasmaPro 100 Cobra配備了高級端點檢測功能,可實時監控過程進度,並確保精確控制蝕刻深度和選擇性。此功能增強了過程的可重復性和產量,從而實現了一致和可靠的設備性能。在型號安全性和可靠性方面，OXFORD PlasmaPro 100 Cobra采用堅固的材料和組件進行設計，以確保長期的性能和運行。該設備包括先進的安全聯鎖和監測系統，以防止流程偏差和確保用戶保護。總體而言，PlasmaPro 100 Cobra代表了半導體和微電子器件制造等離子體加工的尖端解決方案。憑借其創新的雙等離子體源配置、先進的自動化功能和多用途的工藝選項,該系統為廣泛的研發應用提供了無與倫比的靈活性、控制性和性能。