二手 OXFORD PlasmaPro 100 Cobra #293830475 待售

OXFORD PlasmaPro 100 Cobra是為半導體制造、MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）制造和研究應用而設計的先進等離子蝕刻器/asher設備。這種多用途工具配備了多種特性和功能，能夠對各種材料進行精確和受控的等離子體處理。PlasmaPro 100 Cobra是一款高性能工具,提供多種等離子體處理模式,包括蝕刻、灰化、沈積和清潔。該系統能夠處理各種工藝氣體，如氧氣、氟基氣體和其他反應性氣體，允許用戶量身定制等離子體化學，以實現所需的材料去除或改性。OXFORD PlasmaPro 100 Cobra的關鍵特性之一是其先進的等離子源技術。該裝置配有高密度等離子體源，能夠在整個工藝室中高效、均勻地產生等離子體。這樣就產生了一致和可靠的流程結果,從而確保了高流程可重復性和控制。PlasmaPro 100 Cobra提供了一系列過程控制選項,包括射頻功率控制、氣流控制、壓力控制和溫度控制。用戶可以優化工藝參數，以實現特定設備結構所需的蝕刻速率、選擇性和輪廓控制。該機器具有高度可配置的處理室,可用於單個晶片處理或批處理。晶片卡盤設計允許在加工過程中進行安全的晶片夾緊和高效的傳熱,從而確保晶片表面的均勻處理。OXFORD PlasmaPro 100 Cobra配備了用戶友好界面，可方便編程和控制流程配方。用戶可以通過直觀的軟件界面定義流程序列、設置流程參數、監控實時流程數據。該工具設計具有氣體泄漏檢測、超壓保護和聯鎖等安全功能，以確保用戶在操作過程中的安全。PlasmaPro 100 Cobra還具有強大的真空資產,可實現快速下泵和穩定的工藝條件。OXFORD PlasmaPro 100 Cobra是一款非常可靠且經濟實惠的工具,擁有成本低,維護要求最低。該模型專為高吞吐量和生產率而設計,非常適合研究和生產環境。總之,PlasmaPro 100 Cobra是一款最先進的等離子體蝕刻器/asher設備,為各種等離子體處理應用程序提供先進的功能、精確的過程控制和高性能。它的多功能性、可靠性和易用性使其成為半導體制造、MEMS制造和研究實驗室的寶貴工具。