二手 OXFORD PlasmaPro 100 #293663573 待售

OXFORD PlasmaPro 100是一款為半導體研究和先進材料開發而設計的蝕刻器和asher。它提供了一個集成的端點檢測系統,實現了精確的蝕刻端點控制,方便地將數據傳輸到外部系統,並提高了可靠性。這種ecther/asher具有多種功能,可提高工藝可靠性和質量水平。PlasmaPro 100最重要的特點之一就是能夠在單個過程中精確蝕刻和粉刷各種材料。這包括金屬、氧化物、氮化物和可以在等離子體技術和電子技術中進行加工的聚合物。它提供了對橫向和垂直蝕刻輪廓的精確控制。蝕刻器/asher由一個負載鎖式的加工室和真空系統、一個氣體面板和一個專有的頂置等離子體源組成。氣體面板的設計具有與外部系統以及壓力和溫度控制器的通信能力。OXFORD PlasmaPro 100還有一個能夠產生高達100瓦功率的高功率電源。即使在處理多層薄膜時，這種電源也能在基板上提供恒定的功率和高水平的等離子體均勻性。這種蝕刻器/asher可以加工多達三英寸的基板，並且能夠達到高達30 µm的總蝕刻深度。PlasmaPro 100具有許多附加功能,可確保過程可靠。它設計用於低工作溫度、高工藝選擇性、最小的機械振動和均勻的蝕刻輪廓。它還具有較高的吞吐量能力,具有基帶負載和卸載功能,並通過監視腔室來配備可配置的工藝質量保證。總體而言,OXFORD PlasmaPro 100是一款用途廣泛、可靠且高效的蝕刻器,可用於開發先進材料。它能夠處理各種材料，具有精確的端點控制，並提供高吞吐量。它還具有集成的端點檢測系統、與外部系統的通信能力以及可配置的流程質量保證功能。憑借其強大的設計和精確的控制功能,這款ecther/asher為高級材料蝕刻和灰化提供了理想的解決方案。