二手 OXFORD PlasmaPro 100 #293752371 待售
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ID: 293752371
優質的: 2018
PECVD System
Deposition lower electrode kit
ADVANCED ENERGY / DRESSLER RF 600W Generator
AMU Match
INFICON 5T CM Gauge kit
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A604H Pump kit
Pump cable, 10 m
Isolation valve
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACP 15D Dry pump kit
Single wafer load lock kit
Gas pod
(8) Gas lines
Gases: SIH4, NH3, GN2, CF4, N2O
Mass Flow Controller (MFC)
PC
Monitor, 19"
Power supply: 400 V, 3 Phase, 50 Hz
2018 vintage.
OXFORD PlasmaPro 100是一款工業級蝕刻器/asher，專門設計用於光刻、掩模修復和微電子器件制造中的蝕刻和灰化工藝。它的工作原理是將射頻能量與氧化和蝕刻氣體大氣相結合，以誘導高溫等離子體從基質中去除不需要的物質。該機能夠控制底物的化學蝕刻和物理蝕刻以及薄膜的蝕刻和灰化。PlasmaPro 100的心臟是其先進的射頻發生器，它產生的高頻信號範圍高達20MHz。這允許精確且可重復的蝕刻和灰化過程。發電機連接到兩個獨立調節的射頻天線，一個用於化學蝕刻過程，另一個用於物理蝕刻過程。所有這些組件協同工作,為用戶提供對蝕刻和灰化過程的高度控制。OXFORD PlasmaPro 100的蝕刻/灰化室可以一次容納兩個基板，並且能夠達到-25至+40°C的溫度，使得各種材料能夠被蝕刻和灰化。腔室還配備了質量流控制器，以精確控制腔室的壓力以及蝕刻和灰化氣體的流動。這進一步確保了流程的一致性和可重復性。安全對於PlasmaPro 100至關重要,蝕刻/灰化室裝有流量和壓力傳感器,可主動監測其中的大氣。還具有安全互鎖功能，以確保腔室的完整性，不允許有害材料進入工作區。OXFORD PlasmaPro 100支持從1 「x 1」到8 「x 8」的多種基材尺寸。射頻電纜和氣體管路的饋線均為標準尺寸,允許直接連接到各種基板。該機還具有電信號反饋，允許更嚴格的過程控制，以及高分辨率的顯示和直觀的用戶界面，使操作機器變得簡單。總體而言,PlasmaPro 100是一款極其可靠且用戶友好的蝕刻/灰化機。其先進的射頻發生器、雙射頻天線、可控室溫帶和精確控制的射頻參數，使得該機非常適合廣泛的蝕刻和灰化工藝。
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