二手 OXFORD PlasmaPro 100 #293807691 待售

OXFORD PlasmaPro 100是由OXFORD Instruments Plasma Technology開發的高性能等離子體蝕刻器和asher設備。這一先進工具旨在滿足半導體、MEMS（微機電系統）、光電等相關行業的研發和生產環境的苛刻要求。PlasmaPro 100提供了一個用於精確等離子體處理的通用平臺,使用戶能夠在各種基材上實現卓越的蝕刻和灰化效果。OXFORD PlasmaPro 100采用最先進的腔室設計,可提供均勻的等離子體分布和高效的氣體利用率,確保一致且可重復的處理結果。該系統配備了先進的等離子體源和控制機制，允許對氣體流速、射頻功率、壓力、溫度等過程參數進行精確調整。這一級別的控制使用戶能夠量身定制等離子體化學和能量，以優化特定應用的工藝性能。PlasmaPro 100的一個關鍵特點是在處理各種類型的基板上具有靈活性，包括半導體晶圓、玻璃、金屬和聚合物。該設備提供可定制的基板處理選項,如晶圓尺寸、卡盤類型和溫度控制,以適應各種樣品類型和尺寸。這種多功能性使得OXFORD PlasmaPro 100適合研究實驗室、試點生產線和全面制造設施。PlasmaPro 100配備了一系列支持蝕刻和灰化過程的氣體輸送系統。用戶可以從多種工藝氣體中進行選擇，例如氯、氟、氧氣和氙氣，以實現所需的蝕刻選擇性、各向異性和輪廓控制。該機還包括一個高效的抽油機，用於快速排氣和精確控制過程壓力，提高過程的重復性和可靠性。為確保安全和符合行業標準,OXFORD PlasmaPro 100具備強大的互鎖系統、氣體泄漏檢測機制和緊急關機功能。該資產采用用戶友好的軟件界面設計,可提供直觀的流程監視和控制功能。操作員可以輕松設置流程配方，監控實時流程數據，分析結果以優化流程性能。除了先進的處理功能外,PlasmaPro 100還設計了易於維護和可維護性。該模型結合了診斷工具和遠程監控功能,以實現主動式維護計劃和故障排除。OXFORD Instruments提供全面的技術支持、培訓計劃和應用援助，幫助用戶最大限度地提高其OXFORD PlasmaPro 100系統的性能和壽命。總體而言，PlasmaPro 100是一款尖端的等離子體蝕刻器和asher設備，結合了精度、多功能性和可靠性，以滿足半導體和相關行業不斷變化的需求。OXFORD PlasmaPro 100憑借其先進的腔室設計、可定制的基板處理選項、精確的工藝控制以及用戶友好的界面,為等離子體處理技術設定了新標準,並使用戶能夠在其研究和生產應用中取得卓越的成果。