二手 OXFORD PlasmaPro 800 Plus #9412285 待售

OXFORD PlasmaPro 800 Plus是一款蝕刻器/asher，專為半導體基板的高速蝕刻而設計。高速蝕刻工具配備了先進的微波和射頻等離子體技術，使得更快的蝕刻具有更高的產量和精度。PlasmaPro 800 Plus的特點是具有四個石英鹵素反射器的大面積工作臺,能夠在整個表面提供高功率。反射器塗有特殊的介電材料，以防止產生微放電，並確保均勻和精確的蝕刻過程。OXFORD PlasmaPro 800 Plus配備了四個在13.56 MHz微波頻率範圍內運行的射頻源。這四個RF源中的每一個都有一個RF輸出,可以配置為蝕刻或灰化。該工具還為可配置的電源傳遞和控制提供了額外的資源,為不同的蝕刻過程提供了更高的準確性和靈活性。PlasmaPro 800 Plus還具有高精度的精密分級機構，旨在精確調整基板的位置。精密運動由配備雙軸調節和高分辨率編碼器的微型電機伺服控制。這樣可以確保底物在執行蝕刻過程時保持水平。OXFORD PlasmaPro 800 Plus的另一個顯著特點是其先進的過程監控系統。它具有一系列監視器，如實時等離子體強度監視器、過程時間監視器和基板溫度監視器，以提供有關蝕刻過程的實時反饋。它還包含一個過程控制系統，允許用戶針對特定的過程條件精確調整蝕刻參數。PlasmaPro 800 Plus還包括一個全面的流程數據庫，允許用戶輕松存儲和檢索處理數據。數據可以從非易失性內存中快速輕松地檢索,並根據特定的過程條件進行組織。OXFORD PlasmaPro 800 Plus是半導體基板高速、精確蝕刻的重要工具。它配備了先進的射頻和微波等離子體技術，先進的分級機制，以及全面的工藝數據庫。該工具還具有一系列監視器和一個過程控制系統，允許用戶實時調整和監控蝕刻過程。這為用戶提供了更大的控制、準確性和靈活性。