二手 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293587283 待售

OXFORD PlasmaPro NGP 1000是一款使用等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）技術操作的蝕刻器/asher。它是基於一個並行板，微波供電的組件，多用途足以適應廣泛的應用。該模型提高了薄層的沈積均勻性，為復雜的微電子應用提供了最佳的表面質量。它專為薄膜器件的快速原型制作和高通量生產而設計，具有很高的工藝重復性和可靠的性能。OXFORD PLASMA PRO NGP1000是一種低壓設備,旨在提供最高級別的部件安全性和可靠性。該系統具有內置的用戶友好圖形界面,旨在在低溫下提供中等至高速率的沈積。這種蝕刻器可以非常精確地處理各種薄膜沈積任務，如用於MEMS的薄膜塗層、薄膜晶體管、鐵電存儲器和太陽能電池。此外，它還可以用作幹蝕刻器，提供聚合物、金屬、氧化物和半導體層的安全和快速蝕刻工藝。PlasmaPro NGP 1000的功率範圍為0-500W,提供了廣泛的過程靈活性。可控壓力範圍為0.5-10 mTorr,可調氣流為10-1000 sccm,可調射頻頻率為0-13.56 MHz。血漿由一個13.56 MHz的射頻源加熱，以產生必要的活性物質來醫治蝕刻和沈積過程，而無需額外的熱量。此外，該裝置還包括一個獨立的聯鎖方案，以確保其加工容器是完全安全的。總體而言,PLASMA PRO NGP1000是一種可靠、靈活的蝕刻器/Asher,在各種原型設計應用程序中具有顯著優勢。它能以最小的維護提供可重復和準確的結果，適用於廣泛的行業，包括微電子、MEMS、鐵電和薄膜晶體管。它的低壓設計和簡單的操作使得它成為那些正在尋找一個強大和可靠的沈積機的人的絕佳選擇。