二手 OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293591973 待售

OXFORD PlasmaPro NGP 1000是由OXFORD Instruments設計制造的蝕刻器和asher。它是一種高度通用、自動化的等離子體加工設備，針對各種薄膜材料的高質量、可復制和經濟高效的加工進行了優化。該系統適用於處理Silicon、GaAs、SiO2、SiNx等多種材料，使高性能醫療、光電和微電子器件元件得以生產。NGP 1000在緊湊、經濟高效且易於使用的平臺中提供高速等離子體氮化、定向氧化和晶片處理功能,非常適合研發和試點生產實驗室操作。該儀器裝有直徑20厘米的低溫加工室，在超低沈積溫度下優化用於均勻等離子體加工。主動冷卻裝置在腔室內保持持續的低溫輪廓,從而實現高通量處理,並提供可靠、可重復的結果。NGP 1000配備了OXFORD Instruments業界領先的ProCESS控制軟件和提高生產力的晶圓處理,為用戶提供了一個自動化的解決方案,用於高度精確、可靠和可重復的蝕刻和沈積處理。該機設計簡便、可重復運行、工藝效果一致，具有自動氣體和工具診斷功能，並對工藝參數進行高級控制，包括壓力控制、射頻發電機控制和快速晶片配方。NGP 1000設計為低維護,具有自清潔離子源,可減少資產停機時間和降低運營成本。該儀器還配備了先進的安全模型，適合在100級潔凈室中使用，讓用戶確信自己的實驗和研究是安全、可靠和質量最高的。OXFORD PLASMA PRO NGP1000具有優化的設計、高可重復性和低運營成本,是廣泛行業中蝕刻和晶圓操作的絕佳選擇。